二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT是一种用于光学光刻的最先进的掩模对准器。它能够制造密密麻麻、错综复杂的微电子器件，厚度不超过三微米，精度和对准度都很高。该机器提供了最高的精确度,为要求苛刻的应用程序提供了卓越的效果。SVG 340HT遮罩对准器由两个主要组件组成：一个用于定位遮罩和基板的舞台和一个投影光学系统。舞台提供五个运动方向和0.5微米的X-Y分辨率。它配有电动驱动器和运动编码器，用于检测运动误差，而真空卡盘则将电路板和蒙版固定到位。投影光学系统具有增强的紫外线投影透镜，其中包含精密椭圆衍射光栅。这确保了卓越的成像和卓越的对准精度。掩模和基板的对齐是通过ASML 340HT的即时对齐技术实现的。机器将定位基板上的对齐标记,并计算掩码的相对位置,然后将其对齐。这样可以在更少的步骤中对齐复杂的掩码,并提高对齐的准确性。340HT是高度通用的，因为它是兼容各种底物，如石英和硅。它支持广泛的照明源，范围从标准紫外线到极端紫外线（EUV）。它还能够曝光和成像各种图样，包括0.25、0.45和0.65微米的特征尺寸。该机器配备了自动性能和功能验证工具,可提供有关对准精度和曝光速度的实时反馈。它还具有高分辨率摄像头,可显示处理后的模式,从而可以即时评估任何缺陷。简而言之，PERKIN ELMER 340HT是为精密微光刻应用而设计的强大而精确的掩模对准器。它用途广泛,能够自动对齐各种掩码,是需要高精度、分辨率和对齐度的应用程序的理想解决方桉。