二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 500 series #84336 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 500系列是用于半导体封装和微电子器件制造中光刻应用的高精度掩模对准器。对准器能够以极高的精度控制光刻胶和其他材料的曝光，以方便将所需的特征转移到制备的基板上。这些光刻机配备了各种专门设计的功能，以确保每次曝光的准确性。自动晶片加载/卸载设备可确保晶片对齐和快速安全地加载/卸载。为确保准确性，每个晶片放置都经过验证，并维护晶片移动的数字库，以防止错误发生。然后，晶片对准系统扫描并验证每个晶片的位置以及随后的曝光光源，以保证所需的曝光模式。此外,计算机控制的生命周期监视单元监视机器的性能,并告知用户为保持最佳效率所需的任何更改。为了从SVG 500系列对准器中获得最佳的可能结果，必须控制各种参数，例如曝光光源相对于晶圆的位置、曝光时间以及用于最大化分辨率的透镜。曝光波长也是可调的，有多种可用波长包括248nm、193nm和365nm。另外，光学滤光片可以用来调节光源发出的光的强度。可以调整曝光机以考虑到表面反射率对曝光图样的影响。为此,可使用连接到投影透镜工具的可选光纤来照亮材料表面上的反射,帮助防止不正确的对准并提高曝光精度。ASML 500系列对齐器具有易于使用和强大的用户界面,允许每次使用时快速设置和编程机器。用户还可以快速自定义计算机设置,以最好地满足其应用程序需求。为了优化掩模对准器的性能,资产提供了几种工艺诊断方法,如端点和执行器位置控制,以及晶圆热特性分析。此外,模型还提供了流程可追踪性,允许检测曝光过程中可能发生的任何错误。总之,500系列掩模对齐器提供了精确度、速度和用户友好的功能,可在每次使用时提供准确一致的曝光。