二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 554 HT #9358414 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 554 HT是为光学微组装设计的最先进的掩模对准器。对准设备采用激光干涉测量和数字成像技术相结合，确保光掩模在基板上的精确放置。光掩模由一对线性电动机定位，控制角度方向，高精度XY级具有0.01微米的重复性。线性电动机也可以同步，以便在双面光掩模曝光期间进行精确的迭加对准。该系统还能够覆盖对齐补偿，以调整任何尺寸差异的光掩模和基板。SVG 554 HT的曝光光学器件由一对激光照明器和一个可调Koehler照明单元组成。该机采用低失真光学工具，数值孔径为0.40，磁场尺寸可达4.8毫米。激光照明器设计用于最高36 mW/cm激光功率的峰值功率水平，Koehler镜头可在一定的工作距离范围内调节。曝光光学器件还包括一个可选的用于成像大幅面晶片的标线照明器。ASML 554 HT能够处理直径最大为4英寸的基板，可安装真空卡盘或手动夹具。资产包括若干安全功能，如物理互锁和安全保护，以确保操作员的安全。这种最先进的掩模对齐器的特点包括高精度、高速定位和高吞吐量过程控制。该模型以其精确的光学和高精度的运动控制系统，在三维晶片装配、翻转芯片粘合器对准、液晶屏曝光和曝光计量等应用中非常适合光掩码对准和迭加。