二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #293645522 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT是一种蒙版对准器，或光学光刻工具，用于测量和对准微米和亚微米尺度特征。它是可靠和流行的SVG 641 HT的最新版本，针对处理200 mm以下的晶圆尺寸进行了优化。SVG 642 HT利用准分子激光器、LasertecTM可编程步进器和具有集成低温液晶光掩模的独特对准设备。激光发射高分辨率、均匀的激光束，聚焦在掩模的对准区域。可编程步进器将晶片精确定位在一系列x和y方向上，从而使掩模上的图样相对于晶片更好地对齐。除了其精密的对准系统外，ASML 642 HT还具有多项其他最先进的技术，例如其低温液晶光掩模，以提高精度和分辨率。这允许使用比常规光学光掩模更大的特征大小，从而能够形成复杂的结构，如自对齐接触孔。642 HT还具有独特的可变功率光学单元,用户可以在光刻过程中微调激光的功率。这台机器提供了更大的灵活性，使其能够达到所需的光学特性。此外,PERKIN ELMER 642 HT还采用多用途模块化设计,使其成为各种光刻应用的通用工具。SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT从用于掩蔽的基本光刻到诸如预键和溷合构造等更复杂的过程，为每个用户提供了一个全面的解决方桉。SVG 642 HT配备了高达6000 wph的快速处理速度和高达200 mm直径的大面积能力。这使其成为满足大批量生产需求的理想选择。它强大的设计、可靠的性能和经济性使其成为需要在各种生产应用程序中获得精确结果的用户的理想选择。
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