二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #9358411 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner是为微电子电路和元件的光刻而设计的高通量Mask Aligner。这种最先进的设备具有全自动、精确对准的设备、6英寸x 4英寸的基板尺寸和0.3米μ微步进自动对焦运动能力。这使得它非常适合开发和制造具有先进机械、电气、热和光学性能的下一代微电子器件。SVG 642 HT Mask Aligner配备高精度XY表，在x轴和y轴上提供广泛的微步运动，以提高对准精度和重复性。ASML 642 HT采用步进电机驱动系统,可实现高达600 m/min的微动遍历速度,用于基板快速扫描,而两级自动对焦、精细对准装置可确保最大可能的对准精度降至0.3 μ m。结合其8位灰度驱动器和12.7 μ m螺距铝掩模，本机可加工Si、SiO2、SiO2/Si、Ge层等多种基板。PERKIN ELMER 642 HT Mask Aligner具有强大的多区真空卡盘工具,可确保适当夹紧基板,防止在基板表面积聚热量和化学残留物。该设备采用先进的气流控制器，可实现多种抗压加工条件，是先进设备制造和设计的理想选择。642 HT Mask Aligner配备先进型号控制器，操作可靠稳定。它的模块化设计允许方便的用户编程，这使得它适合广泛的用户定义的进程。其直观的用户界面设计方便、安全，改进了对远程数据收集和远程编程的支持。总体而言,SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner是用于精确对准和基板扫描及处理的先进工具,其设计旨在满足微电子开发商和制造商的需求。SVG 642 HT具有高通量电机驱动、精密对准设备、精细对准能力和气流控制功能,是任何微电子开发或制造项目的理想选择。