二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #293605029 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT Mask Aligner是用于制造半导体集成电路和集成光学系统的高精度设备。该系统用于在光掩码上精确定位标线,并精确对齐两层或多层阵列掩模材料,从而创建所需几何形状和复杂性的大规模结构。该单元结合激光干涉对准和高精度步进电机和成像光学器件，在450毫米晶圆和标线区域上实现小于0.15 μ m（10 σ）的对准精度。该机采用光学器件、标线加载和交换工具以及胶片扫描仪，为大型基板和标线的纳米加工和对准提供了可自定义的大视野。资产的水平和垂直视场分别为标线± 30毫米和晶圆± 200毫米。同时,对准距离范围为0.02 μ m-5.6 mm,经线性5 μ m分辨率调整.该模型还配备了良好的图像采集技术，提供了创建可重复、准确的高度和对齐图的能力。它还存储像素高度和对齐数据,并支持将数据导出到外部PC或数据库。此外，该设备还通过使用可见和紫外线（UV）成像相结合，支持整合多激光源、改善光掩模对准、沉积速率和覆盖精度。SVG 651HT还旨在促进高级校正算法的集成,包括自动对焦校正和模式识别中心（COPR）。它提供了自动聚焦、对齐和生命监控功能,使其成为高级生产过程的理想选择。它的自动标线交换功能使标线交换能够快速高效地交换,并促进涉及多个标线的过程。总体而言，ASML 651 HT Mask Aligner是制造半导体集成电路和集成光学系统的通用、精确的工具。它具有大范围的对齐距离选项、大视野以及广泛的成像技术和校正算法，以确保准确性和效率。