二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9165928 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT是一种掩模对齐器,用于制造集成电路并将其合并到与其接触的组件中。它是制造专用计算机芯片或其他半导体产品的重要工具，用于将光刻图样从掩模转移到基板。SVG 651HT结合了几个图像采集、晶片扫描和过程控制系统，以便在晶片上准确放置有图样的抗蚀剂。它提供了一个高级的高端掩码对齐器,可根据用户的需要提供多种配置。ASML 651 HT利用了最新的成像和阵列技术。它具有光学和电子束图样的能力，可用于高通量接触和近距离打印。ASML 651HT提供了两个精确的晶片级,可重复性和准确性,可用于打印在晶片上具有非常精确对齐的层。其精确度也有助于复杂3维产品的制造。SVG 651 HT具有真空载卸站、机械化的opto机械级和空气承载级、自适应聚焦设备、扫描相机、电子束光刻工具、传送带以及多种支撑系统。所有组件都封闭在专门设计的环境中。PERKIN ELMER 651HT配备了自动控制系统和严格的软件算法,用于模式创建、对齐、成像和打印。软件允许设计者对掩码布局和位置进行编程，以充分利用机器的功能。它还提供了CAD模式导入、提高精度的分子束泵送以及数控模式旋转等多种功能。651 HT设计用于极其可靠的生产和工艺控制以及半导体生产的严谨性。它还为纳米技术的应用提供了非常高分辨率的成像能力。该系统具有预防性维护功能,可延长设备寿命并减少计划外维护需求。该机器还为完全的用户合规性而设计，并提供了整个掩蔽过程的完整可追踪性。SVFPERKIN ELMER 651 HT是一款高性能的掩模对准器,可提供光刻设备中最高的精度。凭借其强大的设计和自动化的控制系统，651HT可用于生产产量极好的高度复杂的组件。
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