二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259119 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT是一种通常用于生产半导体器件的微光刻阵列工具。它是一种先进的高端工具,具有运动控制精度和速度,可实现更高分辨率的特征和更紧密的特征放置。SVG 651HT能够提供广泛的曝光特性,使设计人员能够使用较短的曝光波长来实现较小的特征尺寸和更高的性能。ASML 651 HT具有晶圆放置和移动的超精确级平台，最大级行程为4500mm。此外,PERKIN ELMER 651 HT具有内置的压电驱动焦点控制设备（FCS）,可优化曝光均匀性。FCS确保对齐标记或模式的所有部分在整个曝光过程中保持焦点。651 HT采用2,4MHz激光模式生成（LPG）技术,具有先进的扫描支持,可实现高速和可重复模式。该系统还具有一个变焦光学单元（ZOS）,它提供了非常高的精度和对曝光过程的控制。除了上述功能外，ASML 651HT还提供了一些其他功能，旨在支持高级半导体工艺。其中包括一个完整的对齐子系统、一个用于曝光后开发的干膜剥离器（DFS）子系统、一个用于放置和旋转优化的高精度掩模边缘调整机（MEAS）以及一个自动对焦优化工具（AOS）。651HT设计便于维护和可靠性。它具有板载过程诊断功能、确保准确结果的集成校准工具,以及用于优化对齐和打印精度的温度和湿度控制资产。此外,它的开放式体系结构可以方便地更新新的掩码类型。综上所述,SVG 651 HT是一种多用途工具,可提供精密晶圆处理的高级功能。它旨在在广泛的应用中提供可靠、可重复的结果。SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT以其超精密的舞台平台、内置的Focus Control Model、2,4MHz Laser Pattern Generation技术以及其他支持先进半导体工艺的功能，是高端半导体生产的理想选择。