二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293765674 待售
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ID: 293765674
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
Loadlock cassette type: M500/600
No SMIF
Cassette stage: 150 mm
Wafer mapping
Optical sensor
Blower
OS-2000 Controller
Air cooler: 39,000 BTU
Wafer fluoroware cassettes: 150 mm
Electronic motorized carousel arm
Pellicle protection mask cassette system
Cassette and carrier round mask: 7.25"
Life mask X, Wafer X and Pre-aligner anchor flexures
Optical:
High-Throughput coated optics (HT)
UV4 Filter and narrow band secondary
Integrated uniformity tester
Automated Uniformity Testing (AUDIT)
Focus / Viewing / Mag:
Air guage focus system
Extented life gauge head flexure
Automatic Variable Magnification (AVM)
Brightfield and darkfield viewing
Gas scan
Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT是为IC光刻应用而设计的高精度掩模对齐器。此高级掩码对齐器具有先进的对齐体系结构,精度为1.2 μ m。SVG 661 HT还具有超高分辨率光学设备,最小光斑尺寸为12 μ m。此外，ASML 661 HT具有广泛的成像功能，包括4倍装箱、散焦控制和多重照明系统。这些成像功能使IC掩模在半导体加工过程中能够快速精确对准。661 HT采用四点高精度集成设计,可确保精确且可重复的对齐方式。此设计还包括自动对焦和多级扫描和缝线功能,可帮助实现掩码对齐过程的自动化。PERKIN ELMER 661 HT还提供强大的图像处理功能,如二值化、对比度增强和边缘锐化。这些功能可以进一步优化图像质量和对准精度。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT还配备了高速低漂移SSMB（Scanning Stage Movement Block）机械级，用于精确基板对准。该级由无刷电动机驱动，最大步进分辨率为0.1 μ m。SVG 661 HT还具有具有可变激光输出功率和可调激光参数的高功率照明单元。这台机器允许用户减少曝光时间，增加基板曝光的均匀性。为了进一步增强ASML 661 HT的多功能性,该工具配备了可选的icontrol软件包。此程序允许控制661 HT的功能及其许多对齐功能。Icontrol软件还提供了用于对齐和成像的图形工具。PERKIN ELMER 661 HT的卓越特性，加上其出色的精度和能力，使其成为先进的IC光刻应用的理想工具。
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