二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293811482 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT蒙版对齐器是为生产先进的光刻蒙版而设计的功能齐全的工具。此掩码对齐器将功能强大的SVG软件套件与最先进的组件结合在一起,在广泛的应用程序中提供卓越的效果。该设备配备了2048 x 2048分辨率监视器和先进的自动化系统,可可靠地调整阵列步骤。此外,还包括一个强大的光学单元,它允许以无与伦比的精度将图样传输到光圈膜。为了确保获得最佳效果,SVG 661 HT掩模对准器采用高分辨率光机对准机,能够准确定位每次面对面曝光的光掩模。这样可以确保最小的离轴运动和高平坦度,这对于成功的模式转移最终是必不可少的。该工具还包括一个高分辨率的压力测量资产，它可以检测任何施加的压力具有极高的精度。在定位精度方面，ASML 661 HT蒙版对齐器能够实现极其严密的公差。它提供低至0.0005mm/100 μ m的X-Y重复性,以及0.7nm/100 μ m的Z轴重复性。除此之外,该模型还提供了多种边缘定位和聚焦功能,从而可以与现有的流程步骤和常规任务进行高效集成。此外,XY移位和孔对齐等特征允许增加模式传输的复杂性。661 HT掩模对齐器以其可靠的效果而闻名，但这只能得益于其先进的组件。该设备采用尖端芯片技术，以确保最大程度的工艺再现性。此外，这种面罩对准器使用了厚厚的聚氨酯橡胶层，从而显着减少振动并提高图像清晰度。总之，PERKIN ELMER 661 HT蒙版对准器是光刻蒙版生产的最终选择。其先进的光学机械对准、高分辨率压力测量和严格的公差能力确保了在各种任务中的最佳结果。而且，该系统采用尖端芯片技术和坚固的组件，提供最大的可靠性。