二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #9165927 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT是一种高级级的掩模对齐器，用于半导体的制造。它是用于光刻工艺的重要工具，能够在包括硅、玻璃和石英在内的各种基板上产生高质量、准确的图像。SVG 661 HT是一款行业标准的工具,由于其高速、精确的运动设备而提供卓越的性能和精度。它配备了模块化设计，允许光学和真空晶片级的互换使用，以及可选的激光干涉仪计量和光束对准器。这种掩模对准器还可以根据需要通过使用各种透镜、扩散器和其他组件来增强。对齐器还具有一个强大的控制系统，允许快速曝光时间调整和高分辨率的图像采集。它还配备了提供精确迭加精度的高速双梁十字线对准单元。机器还配有内置摄像头，可用于实时查看样品。除了成像基板外，ASML 661 HT也能够将它们处理成更深层次的应用，例如製造集成电路（ICs）、微机电系统（MEMS）和其他微米级的元件。该工具还具有高速自动晶片处理资产,使晶片能够以最小的停机时间往返于加工室。此外，这种面罩对准装置采用坚固耐用的底盘，既防尘又防水。它具有主动振动控制模型,可消除由于设备移动而对成像过程造成的任何潜在干扰。PERKIN ELMER 661 HT还配有内置的粒子过滤器，可以改善整体空气质量，延长机器使用寿命。总体而言,661 HT是一款先进的掩码对齐器,可提供出色的性能、可靠性和灵活性组合。其高速、精密的运动设备，加上强大的控制系统和自动晶圆处理单元，是制造半导体的重要工具。
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