二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9003993 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661是一种掩模对齐器，是一种用于进行光刻的机器。它被设计成一种准确、高效、经济高效的设备，可用于各种平版印刷任务。SVG 661掩模对准器具有线性级设计，使设备小巧小巧，同时提供精度和准确性。它可以达到5,000 nm的大小,3维（3D）对齐误差为+/-1.0 nm, 2维（2D）对齐误差为+/-0.5 nm。它还能够在不使用空气轴承的情况下调整舞台的位置，这意味着即使在调整舞台时也能保持很高的精度。ASML 661拥有先进的光源设备，使用940 nm二极管激光器，可用于曝光尺寸达100 mm的晶片。它还有一个可以根据客户需求定制的控制系统。例如，可以用专有算法对单元进行编程，以便在不牺牲精度的情况下实现效率最大化。该设备还有一个全自动对齐机，可以很容易地检测和成像晶圆上的掩码。该对齐器还采用可选的晶片对齐方式，允许用户进行微米和纳米级调整，而无需手动旋转舞台。最后，661面罩对准器还配备了污染监控器，如果工具被灰尘或碎屑污染，它将提醒用户。此功能有助于确保设备保持清洁并提供高质量的结果。PERKIN ELMER 661掩模对准器是一种先进的设备,可提高速度、精度和效率。它可以用于各种平版印刷任务，其先进的特性允许更高精度的结果。