二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9107715 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 661蒙版对齐器是一种用于精确对齐高精度薄膜层图样的工具。主要用于半导体工业中的光刻工艺。SVG 661具有高分辨率步进电机和内置的刀具定位系统,允许精确的模式对准到亚微米级。ASML 661具有坚固的框架和稳定的底座,使其在图样与胶片的精确对齐方面具有很高的准确性。661具有达到任意模式频率水平的能力,非常适合进行高级纳米加工。具有高重复性,PERKIN ELMER 661也适合在单片上产生多种图桉。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661使用光学取景器对齐图桉。它有一个内置的翻译阶段,允许精确和可重复的移动跨模式进行对齐。蒙版对齐器还具有用于深度调整的Z轴。可以将舞台精确配置为在必要时达到极低的配置级别。此外,SVG 661具有边缘密封系统,可确保薄膜与基板之间的密封紧密,并提供牢固的粘合剂粘结。ASML 661采用模块化低维护设计,在最小的停机时间内易于使用。它还考虑到安全性,具有接地故障中断器(GFI)和紧急关闭开关等功能。此外,它还有一个高灵敏度的光学系统,非常适合操作过程中的检查。总体而言,SVG Mask Aligner 661是一种通用的对齐工具,非常适合半导体行业中精确、可重复的对齐过程。它的特点使得它非常适合创建精确的纳米加工模式,它的模块化设计使得它可靠和易于使用。此外,它的安全功能确保了在使用设备时的保护。因此,ASML Mask Aligner PERKIN ELMER 661是各种应用程序的绝佳工具。
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