二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9210321 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661是一种先进的晶圆对准工具，设计用于半导体器件制造过程中的高精度掩模配准和覆盖。该设备将SVG电子束光刻精度与ASML投影光学成像精度相结合。SVG 661包括单通和双通选项，允许用户选择所需的对齐精度。步进式晶片对齐系统使用高级图形用户界面（GUI）快速确定预定义模式在基板上的精确对齐。ASML 661还包括一个语音识别单元，在预定义的预设位置自动调整参数和对齐基板。该机具有高分辨率光学组件、成像工具和精密级。光学器件用于可视化晶片的表面,并确保所有对齐点都精确对齐并在允许的范围内。成像资产由中能电子束源和低能电子束源组成。低能光束用于表征，用于检测电子光束光刻工艺之前基板上的缺陷和缺陷。661的精密级由X、Y和Z轴组成，允许在电子束光刻和图样配准过程中进行精确运动。该级还包括伺服控制探针和精细运动轴。精细的运动允许在必要时对位置进行快速和准确的校正。PERKIN ELMER 661吞吐量高、精度高，覆盖可重复性低至3.5纳米。该模型还包括一个自动检查工具，以确保登记和迭加的可靠性，以及所有石版印刷形状和特征的自动登记。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661与广泛的光掩模和基板材料兼容，适用于多种应用，包括微电子、显示器和MEMS组件。这种设备非常适合半导体制造商和设备集成商，他们正在寻找晶圆上复杂模式的高速、精确对齐方式。