二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 664 HT #9165930 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HT Mask Aligner是一种用于微加工过程的最先进的对齐工具。它是一种溷合光刻设备，结合了光刻（掩模对准）和电子束光刻（图样），用于材料的亚微米图样。SVG 664 HT Mask Aligner是一个半自动桌面系统，使用一个X-Y平移级和两个旋转级，将有图桉的Mask与基板精细对齐。设备上的倒置显微镜允许用户在视觉上确认对准和图桉位置。在使用ASML 664 HT掩模对齐器时,典型的对准精度为± 90°,角度精度为3°。该机包括一个独立的电子束阵列截面，三柱排列。电子束写入柱由一个控制模块、一个微通道板探测器、一个投影透镜和一个X-Y对准级组成。单独的工作距离控制模块允许调整样品和掩模的垂直位置。电子束柱可用于电子束光刻、抗书写或图桉修复等应用。该工具配有一个光源和一个狭缝光源单元，用于改变狭缝大小和斑点大小。适用于采用传输和反射模式的镀铬口罩等常用口罩。集成的设计允许快速、高效地对准掩模,以实现精确的阵列。使用数字图像投影资产,可以将有图桉的掩码加载到664 HT上。用户可以将掩码的图像加载到模型上,然后将掩码自动对齐。正确对齐后,可以用防反射涂层密封口罩。PERKIN ELMER 664 HT还提供高级自动化功能,如自动掩码选择、焦点扫描和对齐优化。该设备可实现快速和精确的阵列设计,并具有很高的分辨率。SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HT是一种用途广泛、可靠的掩蔽对准光刻系统，为许多先进的光刻应用提供精密平台。SVG 664 HT具有广泛的特点，操作方便，是高科技实验室和制造设施的理想选择。