二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 Series #9249212 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 700系列掩模对齐器是一种用于半导体制造的先进技术。这台设备利用先进的技术,将光掩模与基板对齐,从而创造出高密度的集成电路。遮罩对准器有两个主要组成部分,投影光学器件和基板级。投影光学器件负责将图像从掩模投影到基板,基板级是放置基板以进行该过程的位置。投影光学器件具有超短脉冲激光、四单元光学器件、图像输出缝合系统等一系列特点。光学器件具有卓越的成像能力,分辨率高达0.2微米,成像速度更快。基板级还具有5轴级单元、XY和Z激光干涉测量、自动对焦机等一系列特点。这些特征为精细的特征对齐提供了准确性和灵活性。舞台还进行了机动化,并配备了全方位的运动,以实现基板的精确定位和对准。面罩对准器在设计时考虑了安全性,并配备了激光光帘、双光纤安全继电器、E-STOP等先进的安全特性。这样可确保工具操作安全,并防止在操作过程中发生任何事故。SVG 700系列掩模对齐器是一种功能强大的技术,可以在增加周期时间的情况下实现精细间距的设备制造。其先进的特性和精度提供了生产高质量、高密度电路的能力。该资产非常适合用于半导体器件制造应用,如微处理器、内存和逻辑器件生产。
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