二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 761 HT #9265344 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 761 HT是用于光刻的用于制造集成电路的掩模对齐器。该设备采用短波深紫外线（DUV）激光器和六轴龙门，设计用于处理和对准各种基板和柔性面罩。SVG 761 HT在很大的尺寸和视野范围内提供了很高的对准精度和精度,并提供了一系列自动化功能,以方便快速可靠的实验。ASML 761HT允许制造各种尺寸的最小特征尺寸为0.3微米的集成电路。它有一个6轴龙门，其中"X"，"Y"和3角轴被用来精确对齐遮罩和基板。ASML 761 HT还有一个19微米的光斑激光器，用于对齐掩模和基板。该系统还具有TTL可移动镜头,可根据所需的特征大小进行更换。4位对齐表允许快速、准确地设置基板和掩模。该单元的闭环伺服电子设备为龙门提供精确的控制和反馈，使其能够高精度和重复性地移动。此外,SVG/PERKIN ELMER/ASML 761HT可用于真空或空气中,在设置和操作过程中具有灵活性。SVG 761HT机使用LAM（激光对准标记）方法，用于确定掩模配准和基板地形。LAM是由一个逐行的面罩-书面曝光，然后二次曝光由激光曝光标志基板组成。激光暴露了遮罩没有阻挡的区域，从而提供了比传统方法更精确的对准。761HT还包括用于宏对齐任务的高分辨率视觉工具。该资产采用远心光学模型和高灵敏度CCD相机探测器，以确保精度和精确度。该设备可检测和对准多达128个参考点，允许快速可靠的实验。此外,PERKIN ELMER 761HT还包括一些安全功能。该系统设有轻型窗帘，以确保操作员的安全，并设有自动清洁装置，以减少加工部件上的灰尘和碎屑。此外,该计算机还具有自动运行结束诊断功能,可跟踪性能并提醒操作员注意任何问题。761 HT是光刻应用的理想工具,需要高精度和高精度。它提供了广泛的特性和功能，以方便快速和可靠的实验。