二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 861 HT #9358413 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT Features是SVG製造的全自动蒙版对齐器。该设备设计用于先进的半导体加工，如光刻、电镀、成像、图样传递等。SVG 861 HT提供了多种特性，包括支持尺寸不超过8英寸的基板、高分辨率激光对准器和先进的光学芯片粘合系统。ASML 861 HT具有坚固、运动稳定的双级目标平移表,由精密线性电动机驱动。该单元同时包含压电级和垂直运动,允许沿着三个轴运动,这有助于在整个对齐例程中保持最佳对齐。与传统步进系统相比，结果大大提高了精度和可重复性。机器还有一个内置的双臂机器人，可以自动化加载/卸载过程，从而实现高吞吐量的工作流。机器人还提供了861 HT与广泛材料之间的桥梁，如光掩模、基板、旋转涂层等工艺设备。结果是一个掩码对齐器,它可以高效地运行各种进程步骤。PERKIN ELMER 861 HT还配备了先进的激光对准工具。该资产利用蓝光激光和两个精密探测器快速定位基板边缘，以实现精确对准。该模型可以容纳广泛的材料而无需进行任何修改，包括各种类型的光掩模。SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT还提供先进的光学芯片粘结,能够同时粘合多达五个芯片。得到的产品强度高，可重复，并且在芯片之间有极小的错位。结合过程也很快，得益于高速检流计的使用。SVG 861 HT还配备了高灵敏度的激光轮廓监视器，用于验证基板的质量。显示器收集的数据用于确保光学芯片键合过程和整体一致性的正确聚焦和曝光设置。所有这些都有助于确保产品产量的最高水平和污染的最低水平。总体而言,ASML 861 HT是一款先进的全自动掩码对齐器,它具有多种功能,可实现高效、高质量的半导体处理。双臂机器人、基于激光的对准器和光学芯片结合设备有助于使系统多用途、高效。此外，激光剖面监测仪还增加了一层额外的防污层，并因不对准而产生损失。