二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT是半导体行业常用的高端掩模对齐器。它是一种高度自动化的设备,能够处理从全尺寸7英寸到8英寸到小到8微米的各种口罩尺寸。SVG M641HT面罩对齐器利用4向面包板对齐系统精确定位对齐器腔室内的基板、盖板和网纹。通过这个单元，可以很容易地实现基板到标线的对准，这使得机器能够以高精度和准确度工作。此外,该工具还支持多个掩码对齐器,可灵活满足您的生产和测试需求。ASML M641HT具有广泛的控制系统,旨在为您提供对过程的精确控制。这包括控制光束路径、焦点和曝光,以及自动舞台对准。先进的控制资产还有助于确保过程的质量，从而更容易实现高产运行。该模型使用基于金字塔形检流计的激光设备提供均匀照明。这种激光产生的功率约为1mW，光束点可以在20到160微米之间变化，以适应不同的标线尺寸。光束路径的精度可实时调节，确保最大对准精度。该系统可与多种材料配合使用，如Si、聚酰亚胺、GaN、GaAs等。它支持多种成像过程，包括接触标线到晶片、开放标线到晶片、局部化倒双曝光（LIDE）、无闪曝光（FFE）和多层成像。除了成像能力外，PERKIN ELMER M641HT还支持其他工艺步骤，如迭加、CD公差测量、深度调整等。这允许您将该单元用于一系列应用,包括光刻、沉积、干蚀刻等。M641HT是一种能够提供高精度和高精度的自动化机器,使其成为寻求生产高质量产品的可靠工具的半导体公司的理想选择。通过其先进的控制能力和激光资产，SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT可以处理大多数成像过程要求。