二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 240 #128860 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 240是一种高精度的掩模对齐器，用于光刻在半导体器件制造中的应用。掩模对准器配备了一系列功能,可确保为制造设备而精确对准光掩模。SVG Micralign 240具有0.2微米的分辨率,确保包含此设备暴露的图案的设备具有尽可能高的精度。该系统还允许在对齐过程中引入角度楔形，从而能够准确地创建更复杂的模式。ASML Micralign 240对准器具有两个可调镜头组，其中一个安装在X台上进行高精度定位，一个固定镜头组在Z轴上。每个镜头组都有单独的对焦和对准控制旋钮,以便精确对准。一旦达到目标位置，用户就可以借助真空确保口罩牢固地保持，确保图样准确地传递到基板上。PERKIN ELMER Micralign 240蒙版对准单元还包括一个光刻阶段。此阶段具有一系列可调节的照明和曝光功能,可提高将复杂的光掩模图桉精确放置到基板上的速度和准确性。为确保对准尽可能准确,Micralign 240采用了多种先进技术,包括自动对焦、曝光后计量、自动校正和镜片像差补偿。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 240的微米级精度使得能够制造出比传统光刻系统更可靠、质量更高的半导体电子元件。SVG Micralign 240的精确对准、过放和低公差特性意味着它可以提供生产精密半导体器件所必需的最高质量保证和过程控制。ASML Micralign 240是一种多用途、先进的机器,能够产生复杂而精确的模式.其高精度的对齐和一系列高级功能确保了最终产品的最高质量结构和性能。