二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300 #88758 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300是在光刻过程中使用的掩模对齐器。这种专用仪器被用于微电子、医疗和生物技术等行业，作为制造半导体、显示器、晶片等部件的精确工具。SVG Micralign 300的使用基于外部光刻设备。这台机器提供了一个先进的步骤和重复过程，将芯片几何形状从光掩模转移到基板。其设计精度为10-20 µm，适合位置要求严格的应用。掩模对齐器的功能是允许光通过光掩模,同时选择要传输到基板上的一部分。这是由ASML Micralign 300的电光系统（Electro-Optical system），包含光头、激光光源和高度精确的步进电机实现的。光头将图像投射到精确指定的位置,从而消除了任何未对准的空间。面罩和基板都放置在具有真空效果的X级支架上。机器中的控制允许沿着x轴和y轴精确移动,而z轴坐标运动则在基板上创建浮雕结构的特殊模式。这导致当光刻胶暴露和发展时产生精确的电路结构。还存在一个可见光滤光器单元，以滤除任何无关的光，并确保只使用所需的连续体光谱。此外,还有一个液晶显示屏,它以卓越的分辨率显示所有操作的详细视图。Micralign 300的安全方面包括真空和化学联锁机,确保保持正确的大气条件以确保安全操作和高精度打印。这一工具进一步得到位于基板定位器附近的安全光电探测器的补充，以限制其达到移动范围的极端极限。PERKIN ELMER Micralign 300是一种先进的工具，保证任何微电子、医疗、生物技术设施的高效率和生产率。其先进的规格使其非常适合在光刻过程中以高精度执行复杂的任务。