二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300HT #157468 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300HT是一种用于半导体工业光刻工艺的高端掩模对齐器。该设备旨在确保集成电路中使用的光掩码的高分辨率和高精度对准。它配备了最先进的光学和激光技术，以保证光掩模的精确对准。SVG Micralign 300HT利用四束光束进行对齐：两束水平光束用于X轴运动，两束垂直光束用于Y轴运动。光束使用激光-二极管双异质结产生，通常用于数字显示器和其他高科技应用。这款激光还配备了精确频率迭代仪，以确保在对准过程中进行精确调整。该系统还具有一个集成的模煳逻辑对齐单元，它同时考虑到了光掩码的精确位置和相对偏移。本机也被设计为补偿任何因未对准而造成的错误；这样可以在晶片上精确放置光掩码。还使用高功率显微镜提供了光掩模覆盖的实时预览，确保了最高质量的结果。ASML Micralign 300HT还包括一个热成像工具,称为TemperatureSurfing Asset。该模型在对准过程中监视光掩模的精确温度，保证了最高精度。此外,它还有助于保持热交联,从而显着减少因错误而产生的有缺陷的集成电路的数量。整个设备使用综合软件管理，允许对对齐过程进行多次调整。这使得微调对齐过程极为容易，确保不会发生错误，并实现最佳对齐结果。总体而言,Micralign 300HT是一款高度先进的掩码对齐器,旨在提供最高精度和精确度。其多重特性使其成为处理集成电路的理想解决方桉，确保光掩模与晶片精确、紧密对齐。