二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330 #128861 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330是一款高度先进的掩模对齐器，旨在为半导体行业的用户提供精确准确的对齐结果。这种双透镜光束投影设备由一对激光束组成，这些激光束精确对齐并对准下方晶片上方的掩模。系统使用自动算法来检测角移，以及任何错误，如遮罩板不对准或镜像位置错误。该单元使用一组精确的镜子和透镜来增强晶圆表面的掩模图像。这台机器实现的对准精度为0.12-0.15微米的分辨率，最大场大小为5.6 x 5.2微米。SVG Micralign 330配备了专有的自动对焦工具,该工具与主动和被动光学技术一起确保了掩蔽的最高精度。该资产利用先进的图像处理技术，包括特征检测和像素插值算法，自动调整激光器，以达到尽可能高的精度。此外,此高级模型还提供有关图像质量和曝光时间的主动反馈,允许用户进行所需的调整并确保尽可能高的图像精度。此外，该设备还采用了独特的视觉盾技术，阻止紫外线和红外光进入镜头，以提供对遮罩材料的最大保护。该系统还采用了原位自动化技术,消除了手动对齐,并大大减少了屏蔽所需的时间。该单元非常适合广泛的掩蔽和对齐处理，包括投影打印、直接接触打印以及其他各种精密掩蔽和对齐任务。这种经济高效的机器设计用于各种掩蔽任务，从生产到研究。总而言之,ASML Micralign 330掩码对齐器为无与伦比的掩码和对齐性能提供了尽可能高的精度和精度结果。