二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330HT #128862 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330HT是一种最先进的掩模对准设备,旨在方便芯片元件与晶圆上的图样进行亚微米对准。该系统具有卓越的速度、精度和吞吐量,非常适合光掩模制造、设备制造、高级光刻等应用。SVG Micralign 330HT单元的主要部件是遮罩框、折射光学器件、镜头组件、对准表和二维（2D）交叉引擎。蒙版框架采用双面或四面摆动模块化蒙版设计，使得在不同位置使用多个蒙版操作成为可能。折射光学器件可确保在对准过程中清晰、高分辨率地查看目标阵列。镜头组件也可调节，以获得最佳对准焦点。对齐表包括两轮二维调整，允许精确调整掩模位置，使目标模式与晶片对齐。2D交叉引擎使用一对2D交叉舱口和一对带有线性编码器的移动级来测量目标和晶圆之间的距离。掩码对齐器控制器（MAC）充当操作的大脑,使用户可以轻松选择和配置所需的对齐设置。该控制器由显示蒙版在舞台上位置的对准窗口和包含集成功能的控制集组成，以确保自动对准，精度高达10微米。此外,MAC还配备了Autofocus功能,可将掩码的焦点带到所需的位置,以实现最佳分辨率。ASML Micralign 330HT机常见的操作模式包括单掩码对齐、自动对齐晶圆、手动对齐晶圆以及所有三种模式的组合。例如,在自动对齐晶圆模式下,优化参数将随着晶圆的移动而自动调整。单一、自动对齐和手动对齐模式的组合允许用户使用不同的分辨率和模式。总体而言,Micralign 330HT是一种高度通用的掩码对齐工具。它能够准确、快速地处理各种芯片元件，是先进光刻、器件制造、光掩模制造的理想选择。该资产采用智能口罩对准控制器、可调光学元件、可调镜头组件和二维交叉引擎,可显着缩短设置时间,并仍能提供出色的对准效果。