二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 540 #128869 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 540是一种多轴直接照明掩模对准设备，开发用于晶圆级和芯片级光刻应用。SVG Micralign 540利用数学模型来确定用户指定的掩码与晶圆的对齐方式。显微镜阶段可以在垂直平面上下移动，在水平面左右移动360度。所有这些轴都可以用图形用户界面轻松控制，使掩模精确地配准到晶圆上。该对齐器兼具独特的垂直照明器和大视野成像系统。垂直照明器使用可调节的可见光点来精确检测晶圆上的对准标记，并有助于确保精确定位到掩模上。成像单元将电动成像物镜与彩色CCD相机结合在一起，提供对准标记的连续一致检测和特征的清晰成像，以确保精确对准。ASML Micralign 540利用最先进的双光栅自动对焦机进行测量精度和可重复性。双光栅设计使显微镜能够检测到焦平面的宏观和微观尺度偏差，有助于确保在尽可能长的距离内的对准精度。双光栅工具与强大的自动对焦控制器配合使用，可实现焦点的精确自动校准，进一步提高对准精度。除上述特性外，资产还融合了几个促进提高精度和可重复性的工程特性，如用于精确曝光控制的机械快门、24位电动线性压电驱动级以及用于可靠晶圆放置的光学楔形。Micralign 540允许用户实时监视和记录所有对齐和聚焦属性,从而确保可靠和可衡量的性能。此Mask Aligner模型还可以完全集成到流程工作流设备中,从而实现自动化操作并提高流程吞吐量。