二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 550 #128870 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 550蒙版对齐器是SVG製造的最先进的对齐系统。它被设计用于先进的技术应用,如半导体器件制造、光电、微电子等需要精确对准特征的行业。SVG Micralign 550具有工作面积200 mm x 200 mm的X-Y级,视野0.2 mm,X和Y可重复性0.02 mm,以高达2.5 m/s的速度运行,可重复性0.002 in/s。该级装有真空致动卡盘,用于晶片级处理。该机还配备了可调节扭矩控制的双向伺服电机和不可见对准的线性编码器。ASML Micralign 550设计用于多种不同的技术,包括氦离子、电子束、光学和激光光刻。它还支持深紫外线和紫外线处理,以及接触和接近对准。其中包括一套全面的软件工具和附件,允许用户对机器进行全面编程和监控。PERKIN ELMER Micralign 550提供了一个可靠、可重复和准确的平台,用于调整从最复杂到最简单的任何模式。它允许生成功能丰富的掩码和晶片,并具有精确的执行时间和高精度要求。通过优化工作流程,实现了高产量和高吞吐量,同时降低了生产成本。该机还节能,运营成本低,停机时间最少。Micralign 550是面向先进技术应用用户的理想对齐解决方桉。它非常精确、高效、可靠,为用户提供了生产高质量、细面膜和晶片的绝佳平台。
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