二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 640 #128871 待售

SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 640
ID: 128871
Projection mask alignment systems.
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 640是一款精密的掩模对准器,配有先进的特性,便于电子束光刻图样精确且可重复对准各种基板。这使制造商能够精确地制造亚微米级的电路元件,具有无与伦比的精度和可重复性。SVG Micralign 640的主要部件是其高分辨率成像设备。该系统结合了先进的光学显微镜,同时配备了正常和反光照能力,以及计算机控制的转向阶段。光学显微镜提供了一个明亮的场图像,使用户能够精确地可视化基板上的光刻图桉。转向级针对基板精确对齐调整,高精度控制面罩和基板的相对定位。该单元还配备了先进的光源单元,旨在确保光刻图桉在任何时候都能精确照明。这台机器包括一个大功率的紫外线光源、一个配电网络和一组镜头和镜子。镜片和镜子被战略性地放置,以最大限度地实现整个基板上照明的均匀性。ASML Micralign 640还配备了一套精确控制的定位元件。这些元素使用户能够精确调整蒙版相对于基板的位置。PERKIN ELMER Micralign 640还配备了先进的控制工具,允许用户编程和存储多个光刻面罩布局。这使得它容易快速重新定位面罩相对于基板,允许快速修改,而不会损失任何精度。Micralign 640是一种强大而精确的工具,旨在促进微电路部件的高效生产和对齐。其先进的成像、光源和定位元件使用户能够将光刻图样精确、重复对齐到各种基板上,确保卓越的效果和质量控制。
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