二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 650 #128872 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 650是最先进的高级掩码对齐器,具有精确的特性和功能。它是一种X-Y位移视觉接触对准器和步进器，用来将照片面罩对准晶圆。利用先进的可编程标记查找算法搜索晶片，精确扫描晶片以查找图样并验证照片掩模的对齐方式。该机器能够在可见光谱中使用激光二极管以及较低功率、背景光源和具有图像捕获功能的高速摄像机执行四个可变聚焦功率光对准。该系统还配备了晶圆轮廓、对准和掩模配准控制的先进软件。SVG Micralign 650配有一个封闭的工作区，在工艺应用过程中保持清洁无菌。除了提供更好的吞吐量和更短的生产时间外，该机还被设计为对于线性误差和径向误差都提供一微米以下的卓越精度。该系统具有多种扫描模式,可用于优化对齐过程。它提供了从x 2到x 500的广泛放大级别,使用户能够更准确地分析和定位对齐方式,同时保持与标准掩码格式的兼容性。此外，ASML Micralign 650还有一个板载预对准系统，将每个晶圆对准多个掩模层的过程从几分钟降低到几秒钟。它还通过闭环功能进一步支持质量控制工作,该功能可在线和实时检查掩模与晶片的对齐情况。其庞大的工作站大小也消除了错误的性能问题，这可能不利于调整的准确性。总之,Micralign 650是需要对其光掩模制造过程进行高精度对齐的用户的理想选择。它具有很高的可靠性，其鲁棒性还具有工作参数的灵活性和多功能性。