二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT是一种掩模对齐器，设计用于半导体制造过程中光掩模与半导体晶圆的快速精确对齐。适用于需要高精度和吞吐量的生产环境。SVG Micralign 651HT是一种晶圆级步进器，具有4英寸的视场，提供高达1 µm像素大小的分辨率。它具有一个蒙版传输机制，具有大的145mm蒙版尺寸能力。设备配备了三个光学测量子系统，分别测量图像对比度、宏观高度轮廓和显微镜聚焦位置。它采用两轴级系统，可用于自动放置遮罩，提供快速、精确的对准，配准精度为0.7 µm。集成单元控制器具有直观的图形用户界面和易于使用的编程语言。ASML Micralign 651HT旨在处理各种应用,包括光刻、光学验证和表面检查。也可用于热压花和基材粘结。用户界面有助于编程、存储和检索对齐配方,以实现有效的掩码对齐。机器的光学元件被装在一个空气轴承模块中，以最大程度地减少磨损和振动，从而使晶圆的对准更加平滑和精确。其高速成像相机提供快速的响应时间和高精度数据。其光学元件还具有声学干涉滤波器，在测量小细节时减少背景噪声。该工具具有大的掩码容量、可变的模式重复和易于使用的编程语言，可提供高吞吐量。此外，它还可以很容易地与其他系统集成，包括光机显微镜和自动光学检查系统。其高度可重复的对准精度和低噪声操作使其成为生产环境中的理想解决方桉。