二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #9399549 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT Mask Aligner是一种全自动、计算机控制的设备,专为微电子设备的光刻生产而设计。它能够对齐各种光刻面膜材料，从薄膜面膜到精密蚀刻的面膜。该设备包括一个掩模对准头、一个样品级、一个激光对准系统和一个发光装置，将激光束投射到样品上。SVG Micralign 651HT提供高分辨率和高速度的基板对准.其二维、二轴对准单元在X和Y轴上提供4µm的最大分辨率，± 2弧秒倾斜。它利用激光对准指针机、电子束光学工具和可见目标光学器件，对准精度为+/-2微米或更高。此外,651HT还提供高速对齐功能,在基板上制作图样所需的时间仅为30秒。Micralign利用虚拟对齐库,用户可以快速将底物和掩码移动到X轴和Y轴的目标位置。这一过程与近场对齐相结合，通过识别位置错误并纠正错误，减少了错位的可能性。对齐器能够容纳直径达200毫米的基板，基板厚度可达6mm。它还能够容纳各种各样的口罩，从薄膜口罩到更复杂的精密蚀刻口罩。此外,651HT还支持软接触和硬接触对齐系统,这意味着掩模可以在基板边缘对齐,也可以与平面对齐。这项资产是为高通量操作而设计的，其气动控制的机器人能够在平行基线之间快速穿梭。为了方便起见，对齐器还与行业标准软件和数据库兼容，使得使用集中控制连接多个系统更加容易。综上所述，ASML微对齐651HT是微电子器件精细结构光刻的绝佳选择。它提供高分辨率、高速对准,并且与各种掩码兼容。它的虚拟对齐库减少了错位，而其气动控制的机器人技术提供了一个高效的、高通量的模型。
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