二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700是一种掩模对齐器-一种用于在微电子器件生产过程中精确放置和对齐光刻光栅的机器。SVG Micralign 700是一种通用工具，可以对齐半导体晶片中各种尺寸和特性的掩模，允许精确定位和对准电路模式。该机器包括用于扫描标线和晶片的摄像机设备、双线性对准系统、用于精确定位和对准晶片的6轴机器人以及用于高精度和可重复性扫描操作的自动对焦单元。6轴机器人允许在X-Y-Z这三个相互垂直的方向上手动布置光刻标线。ASML Micralign 700有两个扫描头，一个用于最大10英寸（25厘米）的较大标线，一个用于最大4英寸（10厘米）的较小口罩。照相机利用蓝激光二极管（BLD）成像技术精确扫描标线和晶片，提供精湛的SNR（>300）和高转速的舞台，高达每秒3圈。自动对焦工具基于多重曝光算法（MEA）,利用Z轴扫描资产快速准确地测量残余图像失真。这样就可以精确地放置和对齐晶片相对于晶片的标线，其放置可重复性为<5纳米。Micralign 700还有一个可选的液压卡盘模型（HCS）,其设计目的是在对准操作期间将晶片固定到位,从而提供一定的稳定性级别,这对于相对于晶片精确对准掩模至关重要。HCS提供了一个可调、无刀具的解决方桉,用于将晶片固定到位,而无需额外的工具。PERKIN ELMER Micralign 700是一种坚固且用途广泛的工具,它允许晶圆上的标线精确且可重复对齐。机器的高精度BLD摄像机设备和MEA自动对焦系统确保了扫描操作的高精度,而可选的HCS确保晶片在对准操作过程中保持固定和安全。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700具有<5纳米的放置重复性,是制造精密微电子元件的不可或缺的工具。