二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293827389 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700是一种用于生产微电子电路的自动掩模对准器。SVG Micralign 700采用高精度光刻技术,设计用于精确对齐光掩模并将其暴露在基板上,以便精确放置用于制造集成电路、MEMS和其他微电子设备的微小组件。ASML Micralign 700提供对一系列光刻参数的精确控制，包括X、Y、Z级、OHT对准设备、光学系统、自动对焦、镜盒机械对准、高分辨率亚微米分辨率；包括先进的图像分析技术,以提高显微光刻技术的速度、准确性和成本效益。PERKIN ELMER Micralign 700包括三个主要组件：一个阶段、一个控制器和一个软件包,包括测量工具和数据分析工具。该级是基板定位平台，由超高精度x-y-4轴定位单元、用于OHT对准的精细倾斜级和用于亚微米分辨率的垂直扫描组件组成。控制器是一台高度敏感的基于PC的计算机,它允许用户指定的可自定义设置来控制曝光设置、对齐过程和成像参数。软件是一套图像处理和分析工具,用户可以利用这些工具来调整对齐参数、控制曝光设置和成像参数。这些工具还可以用来分析数据，包括线缘粗糙度、芯片密度和吞吐量。Micralign 700提高了曝光模式的精度,可达到小于5nm,吞吐量速度高达每小时50个晶圆。它还能够与线缘粗糙度（LER）和波位错等程序进行对齐,从而实现临界维度（CD）均匀性和提高产量。此外，该级还可以支持晶圆倾斜，提供更好的工艺均匀性和改进的临界尺寸控制。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700蒙版对齐器是许多需要高精度光刻技术的行业，如微电子、汽车、生物医学和消费电子等光刻的理想选择。SVG Micralign 700使组织能够实现卓越的性能、速度、准确性和成本效益。
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