二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #9232857 待售
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已售出
ID: 9232857
晶圆大小: 4"
Projection mask alignment system, 4"
Autoload system
Wafer type: Semi flat
Cassette to cassette
Includes optical alignment spacers
Auto fine alignment (AFA).
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 from SVG是一种掩模对齐器,为所有半导体和相关光刻工艺提供功率和精度。这种高精度仪器设计用于对准和检查掩模图样,使其成为半导体制造的完美工具。SVG Micralign 700是一种先进的全自动扫描光学成像设备,能够在纳米级范围内以高精度对准两个或多个掩模。该扫描系统可同时获取、对准和检查掩模图样。它还具有两种不同的操作模式:1曝光和2曝光。这个综合单元还包括一个高精度蒙版对齐器(HPMA),允许用户在主曝光过程前轻松对齐多个蒙版。ASML Micralign 700确保高吞吐量和准确性,以满足任何需求。它具有高达4 x 5英寸的非常大的视野,可显着减少掩码复制时间。此外,高精度的莫尔条纹机具有低锯齿噪声,保证了源图像和目标图像之间快速、精确和稳定的对准。该系统还与增强激光对准系统竞争,在整个视场上具有很高的精度,以及15 µm的间距对准精度。PVC-1000T校准器确保连续检查设备的所有参数,并确保所有组件完全对齐。集成的高分辨率CCD摄像头工具还允许非接触式掩模检查。此外,内置的受控环境资产将所有基本参数保持在最优值。PERKIN ELMER Micralign 700已针对安全和用户友好的操作进行了优化。其集成、易于阅读的图形用户界面确保了操作员与模型之间的轻松通信。此外,一系列安全系统,如自动关闭、内置黑暗监视器、X射线探测器和火花或等离子体发生器检测设备,同时工作,以保护用户和设备免受任何损坏。Micralign 700确保了最高质量的协议性能和准确性,使其成为任何半导体生产的完美工具。它为半导体行业中高精度的掩模对准和检查需求提供了一个有效、创新的解决方桉。
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