二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign #9073862 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign是微电子的掩码对齐器。它是一种精密对准设备，用于在集成电路和其他类型半导体元件的制造过程中精确放置和对准半导体光刻掩模。它是晶圆制造工艺的核心，因为它是光刻工艺的支柱。SVG Micralign由一个桌子、舞台、光学系统和两个或更多相机组成。它允许最多五个独立掩模层的定位和对齐。CCD摄像机用于检测各个掩模层的成像点,并采用各种方法（如基准标记）进一步提高对准精度。该单元还包括一个可编程的电机驱动级,用于自动对准掩模层。ASML Micralign配备了先进的光学工具，如显微镜物镜、远心透镜和偏振分光器，用于精确对准。偏振分束器可同时检测具有不同材料或层的两个掩模。显微镜物镜用于放大图像，远心透镜确保整个设备的视场均匀聚焦。Micralign提供了多种对齐模式和非接触对齐功能,包括自动模式识别,它利用CCD图像在对齐点上快速准确地实现零输入。通过快速准确地对齐掩模层,PERKIN ELMER Micralign有助于确保关键配准参数的可重复性和准确性。此外,SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign还提供了流程和生产效率方面的优势,包括一台实时的Intelli-Align机器,可实现快速的掩码对准,以及用于精确对准的光学反馈。该设备还提供各种定位、成像和对准功能,以提高工艺效率。SVG Micralign是微电子制造过程中必不可少的掩模对准器.它提供了多种对齐工具和功能,可实现准确且可重复的掩模层对齐。它的主要功能,包括高级成像工具、实时Intelli-Align工具,以及过程和生产效率方面的好处,使其成为可靠而宝贵的对齐工具。