二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9187411 待售

SVG/PerkinElmerSVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL是一种用于半导体工业光刻的掩模对齐器。此设备用于在掩模（光掩模或标线）上放置图样,并将其精确传输到诸如硅或玻璃之类的基板上。SVGL能够创建多级阵列的超精确对齐,从而在最终的芯片设计中实现高分辨率。SVGL还配备了先进的光学设备,可同时聚焦晶圆和标线表面,以实现最佳成像分辨率。SVGL使用激光转向器在整个光刻过程中进行引导，允许对每个传输步骤进行精确控制。扫描直线电动机可实现舞台的高精度运动。对准信号基于边缘测量,从而生成位置数据。该设备还可以在保持高精度的同时补偿单个组件的变化。SVGL的车载成像系统使用双摄像头进行模式切换和基板移位测量等自动信息。SVGL的控制单元可以用控制器的专用软件包进行编程。这种控制机器允许自定义基板和标线位置、光学设置、激光转向控制以及过程所需的用户定义设置等参数。这就是SVGL经常在生产线中使用的原因。SVGL还得益于预测性和预防性维护功能。这种设备每天可用于3500多个晶圆位置，最多可切割30%的芯片缺陷。它还提供了易于使用的图形界面和高精度。最后，ASML/PerkinElmerSVG PE SVGL是一种用于半导体光刻的掩模对齐器。它具有用于精确对准的激光转向器和用于精确定位的扫描线性电动机。此外,SVGL还提供高级成像工具、编程控制资产、预测和预防性维护功能以及直观的用户界面。由于SVGL的精确度很高,因此对于那些希望在其芯片设计中取得高分辨率结果的用户来说,SVGL是一个极好的选择。