二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9191660 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL是一种多功能掩模对齐器，广泛用于在硅芯片上制造和阵列电路。它能够执行广泛的功能，从精确的掩模配准和对准到精确的模模图桉。该系统配备了两个计算机控制的阶段，能够进行精确的光刻应用，如曝光、涂层、图桉和去堆叠。这些阶段采用智能算法，允许在各个方向自动移动9纳米，确保高精度和可重复性。内部扫描显微镜设计用于观察图样、检查缺陷和剖面线角。它有助于防止导致错误的错位,并使操作员能够快速准确地调整参数。显微镜还包括一个自动对准系统，该系统确保蒙版在蚀刻过程中处于最佳位置。尽管尺寸小巧,但SVG PE SVGL提供了广泛的高级功能。它包括一个用户友好的图形界面，允许用户快速配置作业。该系统还提供各种掩模模式，包括GDSII、OASIS等，以及曝光设置、卡盘温度控制和集成热成像。它可以与大多数光致抗蚀剂材料一起使用，使其适合广泛的应用。ASML PE SVGL实现的高吞吐量和自动化使其成为大批量生产的绝佳选择,使操作员能够快速切换到不同的加工参数并优化产量。它还凭借其出色的性能创造了令人印象深刻的业绩,提供了超过行业标准的精确结果。最后,它得到了世界级客户支持的支持,可在用户需要时为其提供可靠且知识渊博的帮助。