二手 TAMARACK 162 #9214870 待售
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TAMARACK 162是用于研究和微加工的光刻工艺的自动对齐阶段。它是一种全自动、高吞吐量、精确的掩码对齐器,非常适合单步骤过程和多个掩码。162由多个主要组件组成,可实现掩码对准精度和可靠性。主要部件包括单掩模舞台、精细舞台、框架选择舞台、高精度运动控制设备和日冕仪。单蒙版舞台最多可支撑10个平面蒙版，而精细舞台则有1度粒度。框架选择阶段使晶片或基板能够在掩模台上精确定位。运动控制系统使样品和掩模精确对准亚微米精度。日冕仪是TAMARACK 162最鲜明的特徵。它拥有获得专利的激光单元和先进的成像技术，使用内部校准机定位晶圆基板上的掩模图样，以及使用四个摄像机将掩模图样投射到基板上的成像过程。162与各类应用高度兼容，包括SU-8、硅、聚酰亚胺和石英。它还提供了一整套计量和过程控制，包括精确的定位测量、高速图像处理，以及监测过程和根据需要进行修改的能力。由于其高精度的运动控制工具和日冕仪，它具有很高的精度和可重复性。它还降低了成本,因为它是一个单步过程,并且可以高效地处理多个掩码。TAMARACK 162是研究或工业规模微加工工艺设备的理想选择。它有助于更快、更精确的流程,同时增强对结果的质量控制。
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