二手 TAMARACK 162 #9397213 待售

TAMARACK 162是一种先进的掩模对准器，用于生产高分辨率光刻图样，用于非常高精度的集成电路的制造。162是利用移动激光点采用连续接触曝光过程的掩模对准器。这种面罩对准器比传统的接触曝光系统要精确得多，允许2微米或以下的曝光分辨率。TAMARACK 162设计用于提供高分辨率图样,曝光分辨率为0.5 μ m或更小。这种精确度是通过一种致动的x-y定位系统实现的，该系统能够精确对准分辨率低至0.1 μ m的组件，同时利用扫描激光聚焦来保持高分辨率成像。162还利用了一个灵活的模式阶段，允许在单个基板上有不同的模式大小和深度。TAMARACK 162是一种用户友好的掩模对齐器，可以快速、准确地产生复杂的光刻图样。它具有直观的图形用户界面，带有触摸屏控件和用于精确定位的嵌入式运动控制系统。162还有内部自动曝光监控和优化，晶圆/基板处理的自动加载系统，装卸口罩的自管机械臂。TAMARACK 162除了具有高分辨率成像功能和用户友好界面外,还考虑了成本效益。它具有过程自动化和集成生产率监控功能,以最大限度地提高吞吐量,其灵活的软件可用于一系列常见的设备制造要求,包括自旋电子学、MEMS、微流体和光子学等复杂的技术应用。总体而言,162是要求高精度光刻阵列的技术要求苛刻的工艺和应用的理想选择。它的高分辨率级、机器人技术和自动化功能允许快速、精确的光掩模装配和对准,使其成为高精度晶圆制造的理想解决方桉。