二手 TAMARACK 191 #9181537 待售
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TAMARACK 191是一个面罩对齐器，设计用于与标线。它是一个功能强大的双步进定位器，最小步长0.5 m，最小覆盖0.25 m。191的主要功能是实现精确的光学光刻。它利用先进的传感器力学将数据从对齐的标线精确传输到晶圆级，以便在晶圆上制造元件。一系列光学传感器与图样配合工作，以确保曝光前精确对准。这包括红外激光、干涉测量和数字成像技术的组合，以检测对准的准确性，并向掩模对准器提供对准校正反馈。用户可以控制诸如标线大小、对齐精度、倾斜和倾斜以及曝光设置等参数。这样就可以将标线与精细调整的工艺要求精确匹配。系统还包括一个25位自动索引器，这是一个机械臂，具有一系列两步位置的能力，可以在两个标线之间自动交换。它为对齐过程提供了高速、可重复性和准确性。此外，TAMARACK 191还配备了Autofocus系统，利用多图像处理算法精确检测最小特征。它能够聚焦于低至0.5 m的图样特征。191还可以与Si、GaAs、LiNbO3、GaN和GaP等多种不同的基板一起使用，并且可以处理高达300 °C的温度。TAMARACK 191是生产高产、高精度、高吞吐量设备的绝佳选择。它具有高精度、重复性和自动化能力,是高端生产运行的完美工具。
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