二手 USHIO UX-4240 #9364546 待售

USHIO UX-4240是用于半导体器件制造的最先进的掩模对准器。该设备设计用于高速精确对准光学掩模和晶片。它配备了一个4轴运动舞台，允许快速、精确的模式对准。该系统还包括用于精确控制的自动对焦和对准摄像头系统。USHIO UX 4240利用多种光源进行不同的图样化技术，包括深紫外线、激光掺杂、电子束和纳米印刷品光刻。它具有高度动态的光束扫描单元，能够控制速度、加速度和方向，允许极其精确的模式。该机器的设计目的是为小型和大型阵列区域提供一致的结果,即使有复杂的设计规则。该机还配备了感应耦合等离子体（ICP）溅射技术，用于在晶圆上创建抗薄膜层。为了提高生产力，UX-4240采用了四室设计，允许同时对准掩模，计量和化学。这样可以提高吞吐量,降低每晶圆的成本。它还包括一个晶圆夹紧级，用于额外的模式对准精度。该工具还包括用于清除任何现有残留层的激光抗蚀剂去除资产。UX 4240专为高正常运行时间而设计,并提供全面的远程访问和维护功能,以提高可维护性。该模型包括一个数字显微镜，便于对准和检查晶片。这样可以使设备质量保持一致并提高产量。该设备还具有先进的安全功能和用户友好的图形界面，以提高生产力。USHIO UX-4240是一个先进的系统，专门设计，以提供快速和精确的对准光学蒙版和晶片。它具有高速、动态光束扫描能力、同时进行掩模对准和计量、易于维修等特点,是半导体器件制造的理想解决方桉。