二手 USHIO UX-4240 #9364547 待售

USHIO UX-4240是用于半导体芯片生产中光刻的顶级面膜对齐器。它是一种高度精确可靠的工具，在芯片制造过程中具有广泛的应用。该设备利用精密光学和微机械系统将高分辨率图样精确地暴露在感光表面上。USHIO UX 4240主要用于硅片、液晶显示器、光掩模等基板上的集成电路图案化。它具有广泛的用户友好功能，包括易于阅读的数字显示器、操纵杆控制系统和可选的晶圆加热站。其主要优点包括高达0.2 µm的高对准精度、深紫外线光源以及用于掩模检查的红外激光。该单元利用三轴定位级精确扫描和暴露介质表面。舞台在闭环、自动聚焦模式下运作，以确保口罩被精确定位和曝光。机器由板载控制器控制，它使用户可以访问各种参数和设置。该工具采用五棱镜照明器，利用超高压汞弧提供清洁稳定的光源。该资产还能够沉积薄膜和其他具有实质性均匀性的材料。此外,它还有助于确保高可重复精度,同时解决当多个相机和镜头争夺同一光源时可能出现的阴影效果。在安全特性方面，该车型设计有各种安全特性，如百叶窗，防止杂光进入腔室，以保护材料和操作员免受伤害。此外，设备还配备了一个系统，用于控制室内的压力水平，以防止损坏设备。