二手 USHIO UX-4240 #9402608 待售

USHIO UX-4240是为生产先进集成电路（IC）、MEMS和传感器设备而设计的高精度、计算机控制的掩模对准器。它具有超高精度、高速对准和高吞吐量的特点,可用于密集图案化的光掩模。独特的LW-PRISM视觉对准设备提供了光掩模与工件的快速、可重复和精确对准。这样可以精确绘制细线宽度和一些最先进的平版印刷应用。USHIO UX 4240提供先进的低相干象限照明和可选的电动镜头移动，实现精确对准，分辨率降至0.3微米。高性能的三眼系统可以精确地查看蒙版及对其进行的任何更改。对于精确的迭加和图样分辨率，UX-4240采用接触图像传感器（CIS）、激光图像传感器（LIS）和ImagePC图像传感系统，一起使用，以提供面罩与工件的精确对准。该单元还提供了许多对齐和成像选项,以满足最苛刻的迭加要求。UX 4240还提供了一个自动索引机，方便操作。它具有工件位移控制和光学元件阵列功能，可以最好地控制散射光和光束路径。此外，该工具还配备了手动晶片安装架和3轴直线电动架，以实现出色的对准和亚微米精度。所有这些功能的设计都是为了最大限度地提高生产效率、产量和生产一系列高级设计的多功能性。USHIO UX-4240还具有灵活的prober升级选项,以满足要求最苛刻的prober要求,从而确保最高的工艺质量。USHIO UX 4240是一款可靠且经济实惠的解决方桉,可满足最高级别的生产要求。