二手 USHIO UX-4440 #293587280 待售

USHIO UX-4440面罩对准器是一种精密可靠的光刻机，专为制造纳米级电路和器件而设计。它是研究人员和工程师用来创建集成电路、膜以及光电材料和器件的工具。在其核心，USHIO UX 4440包含4级步进电机和256 x 256像素图样对准设备。这个系统以平均20-30 mm/s的速度在三维空间中快速移动晶圆级。步进电机由一个控制器控制，该控制器具有用户可编程的微调过程参数设置，以便针对不同的条件和基板进行优化。掩模对准器采用先进的浸入式光刻装置，其分辨率可低至0.8微米。这样可以确保晶片上图桉的精确放置和对齐。UX-4440还具有一个内置的机动化机器，用于装载，对准和暴露面罩。这允许可重复和可靠的掩码定位，而可编程的场间协议处理不均匀的图像并减少曝光变化。UX 4440还有一个4轴振动前台，用于进一步提高精度，实现纳米可重复性。此功能还消除了蒙版滑动问题,并提高了位置重复性。此外,该工具还包括一个200 Hz的加热电路,可以对其进行微调和调整,以处理蠕变和失真等问题。为了安全和方便起见,USHIO UX-4440采用了内部防腐蚀不锈钢腔室、自动安全关闭装置和可调节压力区域的氮气净化装置,以实现最佳的掩模保护。此外，模型的所有组成部分都经过认证，并超过了欧盟职业健康和安全标准。最后,易于使用的控制界面允许对所有参数和操作条件进行直观、快速和高效的设置。这一点，加上USHIO UX 4440的非凡能力，使得它成为一系列纳米加工和微加工任务的绝佳选择。