二手 USHIO UX-4440 #293591994 待售

USHIO UX-4440 Mask Aligner是一种专用的高精度光刻制图机,允许在亚微米精度下对准mask和晶圆。它是为基板的制图和加工而设计的，最高可达4 "x4"，可重复性± 1 µm。该对准器支持光阻光学透镜系统、自动胶片沉积和导入的设计数据,使其能够有效地创建精确对准,这对于开发复杂设计的高度精细的晶片至关重要。内置的先进计算机控制设备能够处理复杂的跟踪模式程序和自动边缘取景器技术。USHIO UX 4440拥有25毫米至200毫米的FOV，最大光学放大倍率为20倍，允许对投影的遮罩图桉进行全面检视，验证对准的准确性。直观的触摸屏和各种各样的功能允许易于使用（例如,步进重复、自动蒙版配置）。用户界面可用于最多10个用户定义的配方设置和显微镜图像,允许在需要时存储和回放用于作业的过程流。UX-4440具有双腔室、无毒干蚀刻防腐剂,可支撑多种抗蚀剂材料,从而实现卓越的晶片质量。该系统具有长430mm的辐照场，允许在200W/cm2的最大速度下均匀均匀曝光。UX 4440的光源是可定制的，可以与偏振光和UV光同时使用，以精确对齐掩模图桉。内置的光源和龙门可提供广泛的曝光角度，使得同一基板上的窄角曝光成为可能。USHIO UX-4440中基于微处理器的控制器允许一系列操作,如自动过程控制、可移动批处理和低温处理,使其成为高级晶圆处理的理想选择。此外，该单元还可与可选的双面成像机进行多层晶圆处理，从而实现更加复杂的过程。USHIO UX 4440 Mask Aligner是半导体和显示器制造商所必需的工具,需要快速、精确和可靠的光刻模式。其先进的特点，以及高精度的光学透镜系统，使其成为最优质的掩模对准和晶圆处理的理想选择。