二手 USHIO UX-4440 #9364543 待售
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USHIO UX-4440是一种面罩对齐器,设计为非常通用,快速的纳米加工应用。它具有精确到0.5 μ m(微米)的4 "x 4"对齐场,使其能够处理多种类型的基板。配备精密、使用寿命长的级和空气轴承精密级,可实现高分辨率对准和高通量。它具有先进的自动对焦算法,提供最佳的对齐精度和可重复性以及快速的分析时间。该机还具有低振动平台,以提高精度和稳定性。集成了10W并联紫外线氙灯进行曝光,全温控制平台确保石英面罩的可靠和可重复曝光。其数位运动控制器提供可重複精度的高速操作。该系统还为用户配备了多种选项,包括多次曝光功能,可创建高效、精确的口罩,对准摄像头可实现基板的高精度对准,自动级校准,以及超高速真空卡盘。板载PC具有直观的图形用户界面(GUI),可访问计算机的所有设置和功能。该机器还提供灵活的模式转移实用程序,使其适用于更复杂的模式和检查过程。系统还附带了一个可以快速加载和执行的预定义或自定义用户进程参数库,使系统易于使用。USHIO UX 4440是一款先进且高度精确的掩模对齐器,可在纳米加工过程中提供更高的精度、重复性和吞吐量。它的灵活性和可用性,加上其成像和对齐功能,使其成为需要高精度和可靠结果的应用程序的理想选择。
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