二手 USHIO UX-4440 #9402609 待售

USHIO UX-4440
製造商
USHIO
模型
UX-4440
ID: 9402609
Aligners.
USHIO UX-4440是由日本厂商USHIO开发,专门为生产集成电路而设计的掩模对准器。它能够产生高达5微米、5微米分辨率的微电路结构,可重复性为1纳米。USHIO UX 4440还能够生产功能尺寸小于0.5微米的设备。UX-4440具有模块化结构,允许将微处理的多个阶段集成到单个平台中。这使得它成为最先进工艺的理想选择,如深紫外线(DUV)和极紫外线(EUV)光刻。此外,UX 4440还能够进行步进和重复晶圆处理,这使得它非常适合便携式消费电子产品中的多Bean结构。对于电路阵列,USHIO UX-4440使用步骤和重复方法。这确保了生产过程中的精确精度。为了进一步提高系统的精确度,机器使用"双向"对准系统,在阵列制作过程中,掩模和晶圆都以精确增量移动。这样可以确保掩模和晶片每次都完全对齐。USHIO UX 4440还具有自动控制曝光参数的功能,可根据所需的微电路结构进行设置。此外,机器还有一个曝光平整校正系统,它允许用户调整掩模中的任何不对准,以避免在图样化的微电路中出现任何差异。UX-4440不仅可以加工通常的紫外线光刻技术,还可以加工各种材料,包括熔融二氧化硅、陶瓷基板和玻璃。这种多种材料功能增加了掩码对齐器的多功能性。此外,UX 4440可用作12英寸晶圆级对齐器,非常适合小批量生产。所有这些功能的结合使得USHIO UX-4440一个强大的和多用途的面罩对准生产集成电路。USHIO UX 4440具有高精度、多材料功能和自动曝光设置,是IC生产的完美工具。
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