二手 VISION PRECISION GA 16 #9262207 待售

VISION PRECISION GA 16是一款为生产集成电路、内存芯片、成像传感器等晶圆级器件以及许多其他小型化技术而设计的掩模对齐器。该设备使用光刻技术将图样从光刻涂层的硅晶片复制到硅母版或"对齐器"上。它采用了两个来自光纤耦合激光源的强大的红光激光束，并通过柔性光机元件，对遮罩层的曝光进行精确的图桉和统一的控制。激光可以调整到不同的波长，允许更高的分辨率和更高的吞吐率。GA 16在其对准过程中提供了非凡的准确性和可重复性,对准精度约为25nm。这种精确度比传统的光刻方法好十倍，能够创造出更复杂的微器件。该系统还具有一个自动晶片定位单元，该单元使用自动显微镜和基准识别将晶片精确对准掩模。它还包括一系列先进的光学元件，这些元件允许调整光束参数以适应复杂的阵列设计需求。VISION PRECISION GA 16还利用了可变斜率标线载波进行微调精度。这种载体有助于在晶圆上精确、分步地对准掩模。一组多级光学器件可微调照明和图样分辨率,一台特殊的滤光机可快速保护光学器件免受污染。曝光过程涉及高精度的光光旋转百叶窗，可进一步调节曝光。GA 16是一种高效、精密且可靠的掩码对齐器,能够在自动化模式下运行,且人机交互最少。它的特点使微型设备的精确、经济高效的生产成为可能,为制造商提供了许多方便的特性,使微型模式复制成为一项简单而无错误的任务。