二手 DAVID MANN / GCA 3696 #9283456 待售
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DAVID MANN/GCA 3696是下一代多循环面罩的产生和生产设备。它利用最先进的平版印刷和工艺技术,在经济高效的制造环境中提供高分辨率、定制的掩模图桉。GCA 3696可以快速、准确、可靠地生成、处理和检查复杂的光掩模图样。它配备了步进级投影光学器件,能够产生最先进的光刻所需的最高功率和分辨率。它有一个自动曝光系统,每种模式最多可处理四次曝光,提高准确性和掩模复杂性。DAVID MANN 3696具有高级机械设计,采用了新的框架概念,可显着降低振动水平和结构热膨胀。它还使用先进的控制系统来确保准确可靠的制造和检验过程。它有一个自动化的对齐和放置单元,不仅优化精度,而且优化吞吐量。此外,3696提供了先进的缺陷检测能力。它的多层系统可以识别多种缺陷,包括空隙、边缘缺陷、划痕、变薄、侧壁缺陷、缺失特征和碎屑。通过利用先进的图像处理技术,该机能够以超过10nm的分辨率高灵敏度检测缺陷。该工具支持各种掩码格式,包括BGA、BSR、DAL、ESR、FPGA和GDS-II。它还支持与基于VME的C语言可编程控制资产进行同步操作。此外,DAVID MANN/GCA 3696通过具有长晶片盒寿命的滚动晶片处理模型提高了生产率和成本效益。总之,GCA 3696提供了完整的掩模产生和生产设备,结合了高分辨率、高性能、高精度和高缺陷检测,以满足业界领先的芯片和光掩模制造商的需求。
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