二手 MICRONIC MP-80 #9153039 待售

MICRONIC MP-80是一种口罩生成和生产设备，设计用于快速生产制造MEMS、复合半导体和IC所需的高分辨率微口罩。在操作中，MP-80采用了一个完整的、直接写入电子束的方法来精确地生成临界尺寸小至0.1µm的掩模。该系统配备了用于掩模基板XYZ运动的高精度平移级,以及一个软件控制光学单元（SCOS）,以确保图像质量一致并减少未对准错误。此外，MICRONIC MP-80还集成了创新的低损耗电子束曝光工具（LET）。该工具确保电子束始终保持聚焦状态，以补偿飞行中掩模的潜在表面轮廓。这是通过实时测量电子束位置并相应调整束聚焦来实现的。MP-80还配备了一台原位平坦度测量机，用于在制造前检测遮罩材料中的基板翘曲和其他缺陷。MICRONIC MP-80也是为便于使用而设计的。它的用户界面允许用户直观地设置和运行现有绘图中的掩码或创建自己的设计。蒙版数据处理、特征放置、验证和梁成形工具等功能都可与提供的软件包一起使用。该工具还带有一个标准元素模式库，可以快速地纳入蒙版设计。MP-80是一个非常可靠，可靠的资产面罩的产生和制造。其高精度的驱动模式和先进的过程控制能力，超过能够在1小时内实现72个口罩的启动至完成吞吐量，分辨率为0.1µm。这使得它成为制造MEMS、复合半导体和IC等多种用途的理想选择。