二手 TAMARACK 142 #9214869 待售

TAMARACK 142是一种模块化的掩模产生和生产设备，设计用于高性能晶圆尺度光刻。该系统由几个模块组成，包括一个自动曝光单元、一个自动平版印刷优化机、一个自动晶圆对准工具和一个自动掩模检查资产。自动曝光模型包含一组多个大功率激光二极管和一个激光焦距控制设备。这使系统能够提供各种各样的高产量的曝光参数和可重复曝光。自动光刻优化单元能够执行一组预先确定的测量过程，以优化实现所需特征所需的光刻轮廓。自动晶圆对准机与现成的、非接触式和真空对准系统集成在一起，提供可重复和精确的晶圆对准。自动掩模检查工具结合了成像技术，包括SEM和X射线成像，以准确检查掩模是否有缺陷和变化。该资产还设计了先进的自动化和控制模型，允许用户上传蒙版设计，控制曝光参数，优化光刻和晶圆对准过程。该设备还能够实时监测所有流程步骤，并提供详细报告以供进一步分析。总体而言,此系统提供易于使用、可靠且可重复的工艺,用于生产具有高保真光刻和对齐功能的蒙版。这个单元为生产和生产精细定义的高质量口罩提供了一个高效、经济高效的解决方桉。